氦质谱检漏仪，通用检漏仪，卤素检漏仪三种检漏仪有什么区别
卤素检漏仪是因为化学元素周期表里面有卤族元素周期系ⅦA族元素。包括氟（F）、氯（Cl）、溴（Br）、碘（I）、砹（At），简称卤素，通常所说的氟利昂含氟，检漏仪又对氟起反应，所以叫卤素检漏仪，精度最好应该到5×10-7~08Pa·m3/s吧。有手持式和台式的。
氦质谱检漏仪是由离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计、还有分子泵等组成，氦气分子小，还比较活跃，属于惰性气体，不腐蚀设备，检漏效率高，氦气质谱检漏仪反应灵敏，精度高，可检测到5×10-12Pa·m3/s。一般为台式。
通用是氦气和卤素都能检测么？有是有，得更换测试漏瓶。除非有特殊要求。
还有一种氢气检漏仪，是用95%氮气+5%氢气体混合作为介质的。精度结余卤素和氦气之间。
氦气质谱仪原理
氦质谱检漏仪工作原理 图1是一个典型质谱室的剖面图,灯丝电离出来的电子经加速进入电离室,在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞,使氦分子发生电离,He →He++e 。图1 质谱室工作原理 这些离子在加速电场的作用下进入磁场,由洛伦兹力使得氦离子发生偏转,形成圆弧形轨道,半径公式为: 式中, R为离子偏转轨道半径; B为磁场强度; M/Z为离子的质量与电荷之比; U 为离子的加速电压。由此可见,当R, B为固定值时,改变加速电压,可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测到。如果电离室内的成分是干燥大气,在图1的出口缝处测得的离子流强度的理论峰值如图2(根据干燥大气成分绘制) 所示,图中峰值的高度代表离子流强度,它与气体在电离室的分压成正比;氦质谱检漏仪就是利用这一原理,实际上把加速电压设在氦峰值上,如图3 所示,接收极在挡板的作用下只能接收到氦离子,氦离子电流经过放大后用作指示漏率。