什么是EDS分析,EDS是什么仪器
EDS有好几种意思:一种电子数字系统,EDS(Electronic Data Systems)是全球信息服务业领导者之一,以协助全球客户提高的运营绩效;2. 一种测试方法,EDS(Energy Dispersive Spectrometer),电子显微镜(扫描电镜、透射电镜)的重要附属配套仪器,结合电子显微镜,能够在1-3分钟之内对材料的微观区域的元素分布进行定性定量分析;3. 为汽车的电子差速锁,EDS(Even-driven strategy),使驱动力有效地作用到非打滑侧的车轮,保证汽车平稳起步;4. 为电子设备学会,EDS(Electron Devices Society);若你说的不属于以上意思,可以参考百度百科“EDS”。
eds是什么分析测试方法
EDS能谱仪,是一种分析物质元素的仪器,常与扫描电镜或者透射电镜联用,在真空室下用电子束轰击样品表面,激发物质发射出特征x射线。根据特征x射线的波长,定性与半定量分析元素周期表中B-U的元素,EDS可提供样品表面之微区定性或半定量之成份元素分析,以及特定区域之point、line scan、mapping分析。主要用于元素的定性分析;能谱仪能够分析原子序数大于5的元素,波谱仪可以分析原子序数从4~92之间的所有元素;EDS的分析方式有点分析、线分析和面分析;点分析得到一点的所有元素;线分析每次对指定的一条线做一种元素分析,多次扫描得到所有元素的线分布;面分析对一个指定面内的所有元素分析,测得元素含量是测量面范围的平均值;EDS做微区分析时所激发的体积为10um3 左右;EDS常常与SEM结合使用,可对目标部位进行点、线、面形貌扫描和成分分析;检测极限:0.1%,只能做半定量分析,精度一般在1%到5%,深度一般为1~5微米。