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mems

时间:2024-11-01 12:53:22 编辑:阿旭

推荐一下微电子MEMS方向较好的学校。

国内目前(MEMS)工艺条件最好的当数北大,尤其是深槽刻蚀技术,已经张大成老师摸的很透彻,是世界水平。但是别的就一般了。北大的几样法宝:深槽刻蚀机,双面光刻机,和一套键和设备。目前已经开发出国内很流行的两套体硅工艺和一套单层多晶硅的表面硅工艺。但是北大做MEMS比较晚,97年才开始做 MEMS。所以基础还比较薄弱,没有深厚的功底。北大目前在MEMS CAD方面也做了很多的工作,主要是973项目的任务。但是它的主要优势还是在加工工艺上。

3、清华做MEMS的有微所和精仪的两拨人,都做的不错。清华微所和东南大学是国内最早做MEMS的单位之二,所以基础比较雄厚。但是清华的硬件设施很好,所以也就能做出一些比较好的东西。象 Microphone发表在JMEMS上,据我所知那是大陆唯一一篇发表在JMEMS上的文章。清华的主要目标好像是系统集成方面,在这方面投入的精力比较多。虽然清华微所没有专门的mems工艺线,但是清华微所的IC工艺线就是国外的大学也羡慕不已。所以清华微所有深厚的根基,良好的设备,充足的人才,前途远大。至于清华精仪系,周兆英老师做的微泵也很厉害,发表在MEMS Conference上。另外精仪系在测试方面也很有一套。也属于很牛的级别。


补充一下,清华的高钟毓老师也是很牛的,这篇文章里面没有提。我的导师曾经带领我们去高老师那里参观过。高老师是一个很谦虚的人,我的论文评阅人就包括高老师。


4、上海微系统所和北大一样,都是MEMS方面的暴发户,尤其抱上了江公子这条粗腿,近来在国内要风有风,要雨有雨,很是让人嫉妒。目前该所在 MEMS方面发展飞快,也有一定的加工能力,测试也搞的不错。将来有可能成为国内MEMS的第一牛。因为有钱,就买的起设备,加上冶金所本来做IC的基础,和充足的人才,我估计他以后会很牛的。

摘自:http://emuch.net/html/200901/1142861.html


请问MEMS做得好的高校有哪些?谢谢

东南大学微电子机械系统教育部重点实验室
南京理工大学MEMS惯性技术研究中心 军工的
华中科技大学微系统研究中心
西北工业大学微纳米系统实验室
厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心
北京大学微电子研究院微机电系统研究所
清华大学微电子学研究所微纳器件与系统研究室
上海交通大学微纳科学技术研究院
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mems是什么意思

MEMS传感器即微机电系统(Microelectro Mechanical Systems)。是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景。截止到2010年,全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作,已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品,其中MEMS传感器占相当大的比例。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。实际应用MEMS传感器应用于无创胎心检测,检测胎儿心率是一项技术性很强的工作,由于胎儿心率很快,在每分钟l20~160次之间,用传统的听诊器甚至只有放大作用的超声多普勒仪,用人工计数很难测量准确。而具有数字显示功能的超声多普勒胎心监护仪,价格昂贵,仅为少数大医院使用,在中、小型医院及广大的农村地区无法普及。此外,超声振动波作用于胎儿,会对胎儿产生很大的不利作用。尽管检测剂量很低,也属于有损探测范畴,不适于经常性、重复性的检查及家庭使用。

mems是什么意思

mems即微机电系统(英语:MicroelectromechanicalSystems,缩写为MEMS)也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术,它的操作范围在微米范围内。比它更小的,在纳米范围的类似的技术被称为纳机电系统。    微机电系统(MEMS,Micro-Electro-MechanicSystem)是一种先进的制造技术平台。它是以半导体制造技术为基础发展起来的。MEMS技术采用了半导体技术中的光刻、腐蚀、薄膜等一系列的现有技术和材料,因此从制造技术本身来讲,MEMS中基本的制造技术是成熟的。但MEMS更侧重于超精密机械加工,并要涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面也扩大到微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理学的各分支。